等離子體是物質的第四態，其來源于氣態但又不同于氣態，當氣態物質升溫到一定溫度時，原子核外電子便會逃離原有軌道而成為自由電子，而逃離的電子和失去電子的原子核在數量上相等，使得整個體系的正電荷數與負電荷數相等，故稱之為等離子體。由此而產生的等離子體的組分有原子、分子、離子、電子、光子、活性組分、激發態的粒子等。

　　獲得等離子體的方法較多，有熱電離、光電離、氣體放電、輻射放電、沖擊波等，常規產生方法主要有2種，即電暈放電和輝光放電.電暈放電是指在大氣壓力下，通過在電極間施加高強度電壓而產生的弱電流放電，介質通常為空氣;而輝光放電則是電場強度更高、氣壓低于大氣壓的高頻低壓放電，介質可以選用不同氣體.

　　等離子體技術中明顯的特點就是等離子體具有一定的化學反應特性。可以以一種不同于其他物質的第四狀態存在，電子、正負離子、激發態原子、分子以及自由基等粒子等是組成等離子體的主要成分。在性能上表現為一種準中性非凝聚系統。

　　學術上對等離子體的分類方式有很多，按照溫度來區分，可以分為熱力學平衡態和非熱力學平衡態等離子等離子體。熱力平衡狀態的等離子體所處于的環境較高，因此也可以稱之為高溫等離子體，相應的非熱力學平衡狀態的等離子體也被稱為低溫等離子體。

　　等離子清洗機是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。